硅烷,SiH4
纯度:99.999%,杂质含量(ppm):O2≤0.5, N2≤0.5, CO≤0.05, CO2≤0.05, CH4≤0.04, H2O≤0.5, Ar≤0.1, H2≤50。 纯度:99.9999%,杂质含量(ppm):H2≤20, N2≤0.5, O2+Ar≤0.5, CO≤0.05, CO2≤0.05, CH4≤0.04。
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公司名称:乐山维安特科技有限责任公司
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